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ISO 14644-1

Luftpartikelzähler für den Reinraum - worauf achten?

Ein Luftpartikelzähler misst die Konzentration luftgetragener Partikel und belegt die Reinraumklasse nach ISO 14644-1. Dieser Ratgeber erklärt Klassifizierung, Partikelgrößen und Kanäle, Durchflussrate sowie die wichtigsten Auswahlkriterien für das passende Gerät.

5 Min.Stand: 2026-07Geprüft: ESD-Spezialisten
Zum Ratgeber
ISO 1-9
Reinraumklassen 14644-1
0,1-5 µm
typische Partikelgrößen
28,3 l/min
gängige Durchflussrate (1 cfm)
≥ 2 Kanäle
gleichzeitig gemessen
Inhalt
  1. Reinraumklassen
  2. Partikelgrößen und Kanäle
  3. Durchfluss und Messung
  4. Häufige Fragen

Wie werden Reinraumklassen nach ISO 14644-1 bestimmt?

Die ISO 14644‑1 teilt Reinräume in die Klassen ISO 1 bis ISO 9 ein. Maßgeblich ist die maximal zulässige Partikelkonzentration je Kubikmeter Luft, bezogen auf definierte Partikelgrößen. Je kleiner die ISO-Klassenzahl, desto sauberer die Luft.

Ein Luftpartikelzähler saugt ein bekanntes Luftvolumen an und zählt darin die Partikel oberhalb einer Schwellengröße. Aus der Konzentration und der Anzahl der Messpunkte ergibt sich die belegte Klasse. Für die Klassifizierung schreibt die Norm eine Mindestanzahl von Messstellen abhängig von der Raumfläche vor.

Die Grenzwerte gelten für den Nennzustand. Zusätzlich wird zwischen den Betriebszuständen at rest (Ruhe) und in operation (Betrieb) unterschieden, was bei der Abnahme dokumentiert werden muss.

Welche Partikelgrößen und Kanäle sind wichtig?

Ein Kanal entspricht einer Partikelgrößenschwelle, ab der gezählt wird. Gängige Kanäle liegen bei 0,3, 0,5, 1,0 und 5,0 µm; hochwertige Geräte messen ab 0,1 µm. Für die ISO-Klassifizierung ist die Größe 0,5 µm der klassische Referenzwert.

  • 0,1‑0,3 µm: nötig für hohe Klassen ISO 1 bis ISO 5 in der Halbleiterfertigung.
  • 0,5 µm: Referenzgröße der ISO 14644‑1 für die meisten Abnahmen.
  • 1,0 und 5,0 µm: relevant für Pharmazie und GMP-Umgebungen (EU-GMP Anhang 1).
  • Mehrkanalzähler erfassen bis zu sechs Größen gleichzeitig und sparen Messzeit.
Wählen Sie einen Zähler, dessen kleinster Kanal mindestens der kritischsten Partikelgröße Ihrer Anwendung entspricht. Ein Gerät mit 0,3 µm reicht für ISO 7 und ISO 8 nicht selten aus, für ISO 5 sollte 0,1 µm möglich sein.
Messtechnik im Überblick

Vom Partikelzähler bis zum Anemometer - so statten Sie das Prüflabor aus.

Zu den Produkten

Warum sind Durchflussrate und Messstrategie entscheidend?

Die Durchflussrate bestimmt, wie schnell ein Zähler ein aussagekräftiges Luftvolumen erfasst. Verbreitet sind 2,83 l/min (0,1 cfm) für Handgeräte und 28,3 l/min (1,0 cfm) für portable Klassifizierungsgeräte. Eine höhere Rate verkürzt die Messzeit je Punkt deutlich.

Für niedrige ISO-Klassen mit sehr wenigen erlaubten Partikeln ist ein großes Probevolumen nötig, damit die Zählstatistik belastbar bleibt. Bei ISO 5 und darunter ist 28,3 l/min daher praktisch Pflicht, sonst dauert ein einzelner Messpunkt unnötig lange.

Die Zählgenauigkeit optischer Partikelzähler wird nach ISO 21501‑4 kalibriert. Verlangen Sie ein rückführbares Kalibrierzertifikat, sonst ist die Reinraumabnahme nicht anerkannt.

Häufige Fragen

Welche Partikelgröße ist für die ISO-Klassifizierung maßgeblich?

Für die meisten Abnahmen nach ISO 14644‑1 ist die Schwelle 0,5 µm der Referenzwert. Für sehr hohe Klassen bis ISO 5 werden zusätzlich kleinere Größen wie 0,1 oder 0,3 µm herangezogen.

Welche Durchflussrate sollte mein Partikelzähler haben?

Für ISO 5 bis ISO 7 empfiehlt sich 28,3 l/min (1 cfm), weil das große Probevolumen die Messzeit verkürzt und die Zählstatistik verbessert. Für einfache Überwachungen genügt oft 2,83 l/min.

Wie oft muss ein Luftpartikelzähler kalibriert werden?

Üblich ist eine jährliche Kalibrierung nach ISO 21501‑4 durch ein akkreditiertes Labor. Nur mit rückführbarem Zertifikat sind die Messwerte für eine Reinraumabnahme gültig.

Wie viele Messpunkte brauche ich im Reinraum?

Die ISO 14644‑1 gibt die Mindestanzahl Messstellen abhängig von der Raumfläche vor. Bei größeren Flächen steigt die Zahl der Punkte, damit die Klassifizierung repräsentativ ist.

Passenden Luftpartikelzähler gesucht?

Hand- und Klassifizierungsgeräte für Reinräume unterscheiden sich in Kanälen, Durchflussrate und Kalibrierung nach ISO 21501-4 - mehr dazu im Ratgeber.

Normkonform

Geräte für Abnahmen nach ISO 14644-1.

Kalibriert

Kalibrierung nach ISO 21501-4 mit Zertifikat.

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Von 0,1 µm bis 5,0 µm je nach Anwendung.

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Wir helfen bei der Produktauswahl, technische Details klären Sie direkt mit dem Hersteller.

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