Abbildungen beispielhaft, teils KI-bearbeitet. Maßgeblich sind die technischen Daten. KI-Hinweis
Elektrodenkassette Silizium für Ionisator IZS31 - SMC IZS31-NC
Austauschbare Elektrodenkassette mit Silizium-Emitterspitzen für SMC Stabionisatoren der Baureihe IZS31. Hält die Ionenbalance von ±30 V und eignet sich besonders zur Entladung von Silizium-Wafern, da der Werkstoff der Kassette die Kontamination empfindlicher Halbleiter minimiert.
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Beschreibung
Die Elektrodenkassette IZS31-NC ist das auswechselbare Emitterelement der SMC Stabionisatoren der Baureihe IZS31. Sie versorgt den Ionisator mit den Korona-Spitzen, die positive und negative Ionen erzeugen, und lässt sich ohne Spezialwerkzeug als kompletter Block tauschen. Das verkürzt Wartungszeiten und hält die Entladeleistung über die Lebensdauer der Anlage stabil.
Vorteile
- Emitterspitzen aus Einkristall-Silizium, abgestimmt auf die Entladung geladener Silizium-Wafer
- Geringe Partikelabgabe für den Einsatz in Reinraum- und Halbleiterprozessen
- Werkzeugloser Kassettentausch im Servicefall
Anwendungen
Halbleiterfertigung, Wafer-Handling, Reinräume und Bestückungslinien, in denen statische Aufladung zuverlässig neutralisiert werden muss.
Normen und Konformität
Zur Verwendung in Schutzbereichen nach IEC 61340-5-1. RoHS-konform.
Technische Daten
| Elektrodenwerkstoff | Einkristall-Silizium |
|---|---|
| Ionenbalance | ±30 V |
| Verwendung | Ersatz-Emitterkassette für Stabionisatoren IZS31 |
| Gewicht | 0,1 kg |
| Hersteller | SMC |
| Hersteller-Nr. | IZS31-NC |
| Zolltarifnummer | 85439000 |
| GPSR Herstellerdaten | SMC Deutschland GmbH Boschring 13-15 DE-63329 Egelsbach www.smc.eu |
| Artikelzustand | Neu |
| Artikel-Authentizität | Originalprodukt |
| Ursprungsland | Japan |
| Verkaufseinheit | 1 Stück |
| Ausführung | ESD (antistatisch) |
| Zertifikat | IEC 61340-5-1 |
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