Pinzetten

Waferpinzetten

Waferpinzetten greifen Halbleiterscheiben am Rand oder von unten, ohne die aktive Fläche zu berühren. Statt spitzer Enden tragen sie eine abgestufte Schaufel, wahlweise mit 3, 4 oder 5 Zähnen als definierte Auflagepunkte oder zahnlos für kratzempfindliche Oberflächen. Ausführungen mit Polyester-, Teflon- oder Pyroplastspitzen vermeiden metallischen Kontakt zur Scheibe, ESD-Varianten sind ableitfähig nach IEC 61340-5-1 mit 10⁶ bis 10⁹ Ω. Die Kategorie umfasst 15 Artikel von Bernstein und Weller für Scheibendurchmesser von 3 bis 6 Zoll.

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  1. Weller 91SA. Standard Wafer-Pinzette für 3" und 4" Wafer.
    32,04 €

Ratgeber

Waferpinzetten richtig auswählen

Worauf es bei der Auswahl ankommt: Eigenschaften, Vergleich und typische Einsatzbereiche.

Technische Merkmale

⚡ Abgestufte Schaufel statt Spitze - Randgriff ohne Kontakt zur aktiven Scheibenfläche
⚙ Formen 3 DW, 3 DWF, 4 DWF, 5 DWF und 6 DW - zahnlos oder mit 3 bis 5 Zähnen als Auflagepunkte
↕ Kunststoffspitzen aus Polyester und Teflon - kein metallischer Kontakt zur Waferoberfläche
✓ Längen 130 und 150 mm - passend für Scheibendurchmesser von 3 bis 6 Zoll
✓ ESD-Ausführung nach IEC 61340-5-1 - ableitfähiger Edelstahl, 10⁶ bis 10⁹ Ω

Schaufelformen im Vergleich

FormSchaufelEinsatz
3 DWabgestuft, ohne Zähneflächiger Randgriff
3 DWFabgestuft, 3 Zähnedefinierte Auflagepunkte
4 DWFabgestuft, 4 Zähnemittlere Scheibendurchmesser
5 DWFabgestuft, 5 Zähnegrößere Scheiben
6 DWohne Zähne, matt poliertkratzempfindliche Oberflächen

Typische Einsatzbereiche

Typische Einsatzbereiche: Handhabung von Siliziumwafern in Halbleiterfertigung und Messtechnik; Bestücken und Entnehmen von Waferkassetten; Arbeiten unter Reinraumbedingungen; Lade- und Prüfvorgänge an Wafersondern und Mikroskopen; Handling von Substraten und Glasscheiben in der Dünnschichttechnik; Forschungs- und Laborbetrieb mit Scheiben von 3 bis 6 Zoll.