Ground Master Monitor für 8 Werkzeugerdungen, Ethernet, 24-V-Eingang - Desco 770044

In der Halbleiter-, Festplatten- und Elektronikfertigung entscheidet die Erdung der Prozesswerkzeuge über die Ausbeute. Der SCS Ground Master Monitor überwacht dauerhaft die Erdungsimpedanz von acht metallischen Werkzeugen und schlägt optisch und akustisch Alarm, sobald ein Kanal den eingestellten Grenzwert zwischen 1 und 20 Ohm überschreitet.

Vorteile

• 8 Kanäle mit Grenzwert per Drehschalter von 1 bis 20 Ohm (Werkseinstellung 10 Ohm)
• EMI-Überwachung: Alarm bei hochfrequenten Störungen auf der Werkzeugerde, die EOS-Schäden verursachen können
• Eingangsklemmen 7 bis 24 V DC für die Versorgung aus der Maschine, ohne Netzteil
• Ethernet-Anbindung an das Static Management Program (SMP) für Impedanz- und EMI-Messwerte
• Optisches Relais zum Anschluss von Signalleuchten und Summern
• Kalibriert rückführbar auf NIST, Prüfung vor Ort mit dem Verifikationstester CTE701

Einsatz

Erdungsüberwachung von Bestückern, Dispensern, Handlern und Lötanlagen in der Halbleiter-, Flachbildschirm- und Elektronikfertigung.

Normen

Erfüllt die Anforderungen an Dauerüberwachungsmonitore nach ANSI/ESD S20.20 gemäß ESD TR53.