Semicon SCT Cupla

Reinraumtechnik

Die Semicon SCT Cupla von Nitto Kohki ist eine Schnellkupplung, deren Gehäuse vollständig aus PTFE und FEP gefertigt ist und damit chemisch inerten Medienkontakt für aggressive Prozessflüssigkeiten und Gase in der Halbleiterfertigung bietet. Das Sortiment umfasst Stecker (P-Typen) und Buchsen (S-Typen) in den Nenngrößen SCT-2, SCT-3, SCT-4, SCT-6 und SCT-8, jeweils mit G- und NPT-Gewinde lieferbar. Die Trennung erfolgt drucklos, was Partikeleintrag und Kontamination der Prozessumgebung verhindert.

⬡ PTFE/FEP-Gehäuse - Vollständig aus fluorierten Kunststoffen, keine Metallteile im Medienpfad, für UPW, HF und ähnliche Prozessmedien

✓ FEP-Dichtung - Chemisch beständig gegen konzentrierte Säuren, Basen und lösungsmittelhaltige Medien

↕ Nenngrößen 2-8, G und NPT - Stecker (SCT-xP) und Buchse (SCT-xS) passend zusammen, G- und NPT-Gewinde je Größe verfügbar

⚙ Drucklose Trennung - Kuppeln und Entkuppeln ohne Restdruck verhindert Flüssigkeitsaustrag in Reinraumumgebungen

Typ	Kenngröße	Werkstoff	Dichtung	Gewinde
SCT-2P / SCT-2S	2	PTFE, FEP	FEP	G oder NPT
SCT-3P / SCT-3S	3	PTFE, FEP	FEP	G oder NPT
SCT-4P / SCT-4S	4	PTFE, FEP	FEP	G oder NPT
SCT-6P / SCT-6S	6	PTFE, FEP	FEP	G oder NPT
SCT-8P / SCT-8S	8	PTFE, FEP	FEP	G oder NPT

Typische Einsatzbereiche: Nasschemische Prozesse in der Wafer-Fertigung (HF, H2SO4, NH4OH), Gaspanels mit korrosiven Spülmedien, Reinstwasserverteilung (UPW) in Fab-Umgebungen, Photolithographie-Systeme sowie Pharma- und Analysetechnik, wo metallfreier Medienpfad und partikelarme Verbindungen gefordert werden.

Technische Daten laut Herstellerkatalog

Baureihe	SEMICON CUPLA SCT Type
Gehäusewerkstoff	Polytetrafluorethylen (PTFE) (Typ SCT), Elektropolierter Edelstahl (SUS304) (Typ SCY)
Dichtwerkstoff	FEP-ummantelter O-Ring aus Fluorkautschuk (Typ SCT), Ventil aus Fluorpolymer (PFA) (Typ SCT), Perfluorelastomer (P) Dichtung (Typ SCY), Dichtung aus Fluorkunststoff PTFE (TF) (Typ SCY), Ventil aus Fluorpolymer, PTFE, ausgenommen 1S und 2S aus PFA (Typ SCY)
Betriebsdruck max.	0.2 MPa {2 kgf/cm2}
Arbeitstemperatur	Typ SCT O-Ring: FEP-ummantelter Fluorkautschuk (Kennzeichnung: -): +5 °C bis +50 °C \| Dichtung Typ SCY: Perfluorelastomer (P): 0 °C bis +50 °C
Ventilbauart	beidseitig absperrend
Zugelassene Medien	Hochreine Chemikalien, Wasser, Gas, Druckluft
Größenbereich	Typ SCT: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/4-18NPT, 3/8-18NPT, 1/2-14NPT, 3/4-14NPT, 1-11.5NPT. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT
Katalogseite	C01en-b, 145

Funktionsprinzip

Beide Kupplungshälften schließen beim Trennen. Der Leitungsinhalt bleibt auf beiden Seiten erhalten.

Ablauf beim Kuppeln einer Schnellkupplung mit Kugelverriegelung.

SCT Typ: Für den Körper wird Polytetrafluorethylen (PTFE) verwendet.
SCT Typ: Der Körper aus Polytetrafluorethylen (PTFE) bietet ausgezeichnete Chemikalienbeständigkeit.
SCT Typ: Muffe und Stecker haben eingebaute automatische Absperrventile, die beim Trennen ein Ausströmen des Mediums verhindern.
SCT Typ: Da sich aus den mediumberührten Teilen keine Metallionen lösen, ist eine hohe Zuverlässigkeit gewährleistet.
SCT Typ: Alle Komponenten werden im Reinraum gereinigt, montiert, geprüft und anschließend verpackt.
SCT Typ: Aus einer großen Auswahl an Größen lässt sich das passende Modell für Anwendung und Medium wählen.
SCT Typ: Optionale Nutverriegelung gegen Fehlkupplung. 10 Nutmuster sind verfügbar.
SCY Typ: Eine Dichtung aus fluorhaltigem Harz und eine Dichtung aus Perfluorelastomer verringern die erforderliche Kupplungskraft und sorgen für dichten Abschluss.

Alle Modelle der Baureihe

SCY - Innengewinde

Modell	Kupplungsteil	Anwendung	Edelstahl (g)	L	øD	T	øH(WAF)
SCY-1S	Muffe	Für 10L bis 20L	116	(48)	29	Rc 1/8	18
SCY-1S-NPT	Muffe	Für 10L bis 20L	116	(48)	29	1/8-27NPT	18
SCY-2S	Muffe	Für 10L bis 20L	180	(58)	33	Rc 1/4	22
SCY-2S-NPT	Muffe	Für 10L bis 20L	180	(58)	33	1/4-18NPT	22
SCY-3S	Muffe	Für 100L bis 200L	292	(65)	39	Rc 3/8	27
SCY-4S	Muffe	Für 100L bis 200L	519	(72)	50	Rc 1/2	35
SCY-6S	Muffe	Für 100L bis 200L	862	(88)	59	Rc 3/4	41
SCY-8S	Muffe	Für 100L bis 200L	1360	(102)	68	Rc 1	50

SCT-P - Innengewinde

Modell	Kupplungsteil	Anwendung	Kunststoff (g)	L	A	C	T	øH(WAF)
SCT-2P	Stecker	-	43	59	30.5	27.5	Rc 1/4	24
SCT-2P-NPT	Stecker	-	43	59	30.5	27.5	1/4-18NPT	24
SCT-3P	Stecker	-	77	68.5	33.5	34.5	Rc 3/8	30
SCT-3P-NPT	Stecker	-	77	68.5	33.5	34.5	3/8-18NPT	30
SCT-4P	Stecker	-	91	69.5	37.5	39.5	Rc 1/2	36
SCT-4P-NPT	Stecker	-	91	69.5	37.5	39.5	1/2-14NPT	36
SCT-6P	Stecker	-	160	78.5	45	48	Rc 3/4	41
SCT-6P-NPT	Stecker	-	160	78.5	45	48	3/4-14NPT	41
SCT-8P	Stecker	-	300	112	60.5	59	Rc 1	50
SCT-8P-NPT	Stecker	-	300	112	60.5	59	1-11.5NPT	50

SCT-S - Innengewinde

Modell	Kupplungsteil	Anwendung	Kunststoff (g)	L	øD	T	øH(WAF)
SCT-2S	Muffe	-	101	89.5	41	Rc 1/4	19
SCT-2S-NPT	Muffe	-	101	89.5	41	1/4-18NPT	19
SCT-3S	Muffe	-	156	102	49.5	Rc 3/8	24
SCT-3S-NPT	Muffe	-	156	102	49.5	3/8-18NPT	24
SCT-4S	Muffe	-	192	107	54.5	Rc 1/2	30
SCT-4S-NPT	Muffe	-	192	107	54.5	1/2-14NPT	30
SCT-6S	Muffe	-	340	123	68	Rc 3/4	36
SCT-6S-NPT	Muffe	-	340	123	68	3/4-14NPT	36
SCT-8S	Muffe	-	770	172.5	82	Rc 1	46
SCT-8S-NPT	Muffe	-	770	172.5	82	1-11.5NPT	46

Maße in Millimeter. Werte in Klammern gelten im gekuppelten Zustand.

Zeichenerklärung: L = Gesamtlänge; H = Schlüsselweite oder Außenmaß; D = Außendurchmesser der Muffe; A = Länge der Schlauchtülle; C = Hülsenmaß; T = Gewinde oder Tüllengröße; B = Durchgangsbohrung

Baureihen im Vergleich

Baureihe	Betriebsdruck max.	Größenbereich	Ventilbauart	Zugelassene Medien
SEMICON CUPLA SCT Type	2 bar	Typ SCT: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/4-18NPT, 3/8-18NPT, 1/2-14NPT, 3/4-14NPT, 1-11.5NPT. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT	beidseitig absperrend	Hochreine Chemikalien, Wasser, Gas, Druckluft
SEMICON CUPLA SP Type	2 bar	Typ SP und SCS: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT, 19/32-18UNS. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT. Typ SCAL: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll. Typ SCF: Gewinde 3/8 Zoll, 1/2 Zoll / M26, M32 sowie Rohrtülle ø6 mm x ø8 mm, ø8 mm x ø10 mm	beidseitig absperrend (Typ SCAL: beidseitig absperrend und tropfarm)	Hochreine Chemikalien, Wasser, Gas, Druckluft

SEMICON CUPLA SCT Typ ist zu wählen, wenn die mediumberührten Teile keine Metallionen abgeben dürfen: Der Körper besteht aus PTFE, das Ventil aus PFA und der O-Ring aus FEP-ummanteltem Fluorkautschuk, bei gleichem Betriebsdruck von 0.2 MPa {2 kgf/cm2} und gleicher beidseitiger Absperrung wie beim SEMICON CUPLA SP Typ. Der SCT Typ deckt 1/4 Zoll bis 1 Zoll mit Innengewinde nach ISO Rc und NPT ab und bietet optional eine Nutverriegelung mit 10 Nutmustern gegen Fehlkupplung. Wird eine Ausführung mit Leckagereduzierung benötigt, bietet der SEMICON CUPLA SP Typ sie mit seinem SCAL Typ.

Werkstoffe und Dichtungen

Gehäusewerkstoff
Polytetrafluorethylen (PTFE) (Typ SCT)
Elektropolierter Edelstahl (SUS304) (Typ SCY)

Dichtwerkstoff	Kennzeichnung	Arbeitstemperatur	Bemerkung
Typ SCT O-Ring: FEP-ummantelter Fluorkautschuk (Kennzeichnung: -)	-	+5 °C bis +50 °C	-
Dichtung Typ SCY: Perfluorelastomer (P)	-	0 °C bis +50 °C	-

Weitere Katalogangaben

Hinweis	Wert
Druckeinheiten aufgedruckt	MPa 0.2 / kgf/cm2 2 / bar 2 / PSI 29
Maximales Anzugsmoment Typ SCY	siehe Seite 144, SEMICON CUPLA Typ SCS.
Typ SCT minimaler Querschnitt (mm2)	SCT-2SP: 12, SCT-3SP: 34, SCT-4SP: 54, SCT-6SP: 103, SCT-8SP: 225
Minimaler Querschnitt Typ SCY (mm2)	SCY-1S: 15, SCY-2S: 23, SCY-3S: 28, SCY-4S: 71, SCY-6S: 110, SCY-8S: 162
WAF	WAF steht für Schlüsselweite.

Austauschbarkeit und Baugruppen

SCT Typ: Muffen und Stecker lassen sich unabhängig von der Anschlussform verbinden, sofern die Zahl [] in der Modellbezeichnung {SCT-[]S (P)} gleich ist. SCY Typ: verbindbar mit Steckern des SCS Typs gleicher Größe; Einzelheiten siehe Interchangeability Check List (SCS Type, SCY Type).

Sicherheits- und Einsatzhinweise

SCT Typ: Bei jeder Methode kann zu festes Anziehen das Gewinde beschädigen und zu Leckage führen; gehen Sie daher besonders sorgfältig vor.
Lesen Sie vor dem Gebrauch unbedingt den Sicherheitshinweis am Ende dieses Katalogs sowie das den Produkten beiliegende Anleitungsblatt.

Alle technischen Angaben auf dieser Seite stammen aus dem Nitto Kohki Gesamtkatalog Quick Connect Couplings C01en-b, Seite 145. Der vollständige Katalog steht auf dieser Seite als PDF zum Download bereit.

Was sind Nitto Kohki Semicon SCT Cupla und für welche Industrieanwendungen werden sie eingesetzt?

Nitto Kohki Semicon SCT Cupla sind Präzisions-Schnellverschlusskupplungen mit PTFE- und FEP-Materialien, die speziell für Reinraumanwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurden. Diese Quick Connect Kupplungen gewährleisten kontaminationsfreie Medienübertragung bei pneumatischen und hydraulischen Systemen in ISO-Klasse-1-Reinräumen. Typische Einsatzbereiche umfassen Wafer-Fertigungsanlagen, Ätzprozesse, CVD-Systeme und andere kritische Halbleiterproduktionsverfahren, wo höchste Reinheitsanforderungen und zuverlässige Verbindungstechnik erforderlich sind.

Welche technischen Auswahlkriterien sind bei SCT Cupla Schnellkupplungen zu beachten?

Die Auswahl der SCT Cupla erfolgt primär nach Anschlussgröße mit verfügbaren Nennweiten von SCT-2S bis SCT-8S für metrische Gewinde und entsprechenden NPT-Varianten für amerikanische Gewinde. Entscheidend sind die Materialkompatibilität der PTFE/FEP-Konstruktion mit aggressiven Chemikalien, der Betriebsdruckbereich bis 1,0 MPa und die Medientemperatur von -10°C bis +150°C. Die Wahl zwischen Stecker- (S) und Muffe-Ausführung (P) richtet sich nach der Systemkonfiguration und den spezifischen Anschlussanforderungen der Reinraumanlage.

Welche Normen und Zertifizierungen gelten für SCT Cupla Reinraumkupplungen?

SCT Cupla Kupplungen entsprechen den strengen Anforderungen der DIN EN ISO 14644 für Reinräume und zugehörige Reinbereiche sowie der VDI 2083 für Reinraumtechnik. Die PTFE- und FEP-Materialien erfüllen die FDA-Konformität nach 21 CFR 177.1550 und sind gemäß USP Class VI biokompatibel zertifiziert. Zusätzlich entsprechen die Kupplungen den Richtlinien der SEMI-Standards für Halbleiterausrüstung und gewährleisten durch ihre konstruktive Auslegung die Einhaltung der Partikelemissions-Grenzwerte nach ISO 14698.

Worin unterscheiden sich die verschiedenen SCT Cupla Varianten voneinander?

Die Hauptunterschiede der SCT Cupla Varianten liegen in der Anschlussgröße von SCT-2S bis SCT-8S entsprechend den Rohrdurchmessern von 2 mm bis 8 mm sowie der Gewindeart zwischen metrischen und NPT-Ausführungen. Stecker-Varianten (S-Modelle) wie SCT-6S dienen als männliche Anschlüsse, während Muffen-Varianten (P-Modelle) wie SCT-6P die weiblichen Gegenstücke bilden. NPT-Ausführungen wie SCT-8S-NPT verwenden amerikanische Rohrgewinde nach ANSI B1.20.1, während Standard-Modelle metrische Gewinde nach DIN ISO 228-1 aufweisen.

Welche Installationsanforderungen gelten für SCT Cupla Kupplungen?

SCT Cupla Kupplungen erfordern eine gereinigte Installationsumgebung entsprechend ISO-Klasse 5 oder besser zur Vermeidung von Kontaminationen während der Montage. Die Anschlüsse müssen mit PTFE-Band oder speziellen Reinraumdichtmitteln abgedichtet werden, wobei ein Anzugsmoment von 15-20 Nm für größere Ausführungen wie SCT-8S einzuhalten ist. Die Systemkompatibilität umfasst Betriebsdrücke bis 1,0 MPa bei Medientemperaturen von -10°C bis +150°C, und die Kupplungen sind sowohl für pneumatische als auch hydraulische Anwendungen mit inerter Gasatmosphäre geeignet.

Welche Schutzart und Betriebsparameter haben SCT Cupla Kupplungen?

SCT Cupla Kupplungen weisen durch ihre vollständige PTFE/FEP-Kapselung eine hohe Dichtigkeit entsprechend IP65 gegen Staub und Spritzwasser auf. Der zulässige Betriebsdruckbereich erstreckt sich von Vakuum bis 1,0 MPa bei Betriebstemperaturen von -10°C bis +150°C für kontinuierlichen Betrieb. Die chemische Beständigkeit umfasst aggressive Medien wie Flusssäure, Salpetersäure und organische Lösemittel, wobei die PTFE-Konstruktion eine Ausgasung unter 1 x 10^-8 Torr·L/s gewährleistet und damit höchste Vakuumtauglichkeit erreicht.

Welche Wartungsintervalle und Inspektionsanforderungen gelten für SCT Kupplungen?

SCT Cupla Kupplungen erfordern quartalsweise Sichtprüfungen auf Oberflächenbeschädigungen und Dichtheitsprüfungen mit Helium-Leckdetektion bei kritischen Anwendungen gemäß DIN EN 1779. Die PTFE/FEP-Materialien ermöglichen eine Betriebsdauer von mindestens 10.000 Kopplungszyklen unter Normalbedingungen, wobei ein vollständiger Austausch nach 24 Monaten Dauerbetrieb empfohlen wird. Reinigungszyklen erfolgen prozessabhängig mit isopropylalkoholischen Lösungen oder Plasmacleaning-Verfahren, und die Kupplungen müssen nach jeder Demontage auf Verschleiß der Dichtflächen inspiziert werden.

Für welche Medien sind SCT Cupla Kupplungen geeignet?

SCT Cupla Kupplungen mit PTFE/FEP-Auskleidung sind für hochreine Gase wie Stickstoff, Argon, Wasserstoff und aggressive Chemikalien einschließlich Flusssäure bis 40% Konzentration geeignet. Die Materialkompatibilität umfasst Betriebstemperaturen bis 150°C bei gleichzeitiger Beständigkeit gegen UV-Strahlung und Ozoneinwirkung nach ASTM D1149. Durch die FDA-konforme PTFE-Konstruktion eignen sich die Kupplungen auch für pharmazeutische Anwendungen und Ultrareinwasser-Systeme mit Leitfähigkeiten unter 0,1 μS/cm gemäß VDI 6022.