Reinraumtechnik

Nitto Kohki Pneumatik

Reinraumtaugliche Schnellkupplungen von Nitto Kohki sind für die Halbleiter- und Chiptechnik entwickelt worden, wo Partikelabgabe und Kontamination kritische Ausschlussparameter sind. Das Sortiment umfasst zwei spezialisierte Baureihen: die Semicon SP Cupla aus Edelstahl SUS304 mit FKM- oder EPDM-Dichtungen sowie die Semicon SCT Cupla aus PTFE und FEP, die chemisch inerten Medienkontakt ermöglicht. Beide Serien verbinden drucklos trennbar und verhindern Flüssigkeits- oder Gasaustritt beim Kuppeln.

Kategorien

Semicon SP CuplaEdelstahl SUS304, FKM/EPDM, G- und NPT-Anschluss

Semicon SCT CuplaPTFE/FEP-Gehäuse, chemisch inert, für aggressive Medien

⚙ Reinraum-Werkstoffe - Edelstahl SUS304 (SP) oder PTFE/FEP (SCT), ausgelegt für ISO-Klassen-Reinräume der Halbleiterfertigung

✓ Drucklose Trennung - Kuppeln und Entkuppeln unter Druckfreiheit verhindert Fluidaustrag und Partikelkontamination

⬡ FKM- und EPDM-Dichtungen - Beständig gegen chemisch aggressive Prozessgase und UPW (ultrapure water)

↕ Anschlussgrößen 1-8 - Stecker- und Steckbuchsenvarianten mit G-, NPT- und UNS-Gewinde lieferbar

Merkmal	Semicon SP	Semicon SCT
Gehäusewerkstoff	Edelstahl SUS304	PTFE, FEP
Dichtung	FKM oder EPDM	FEP
Gewindetypen	G, NPT, UNS	G, NPT
Größen (Kenngröße)	1-8	2-8
Chemische Inertheit	hoch (SUS)	sehr hoch (PTFE/FEP)

Typische Einsatzbereiche: Halbleiterfertigung (Wafer-Handling, CMP, Ätzprozesse), Chiptestanlagen und Wafersteppersysteme, Gaspanels und Gasdosiersysteme in der Chipproduktion, Reinstwasserkreisläufe (UPW) sowie Laboranlagen in der Pharma- und Biotechindustrie mit Anforderungen an partikelfreie Verbindungen.

Was sind Nitto Kohki Reinraumtechnik-Schnellkupplungen und für welche Industriebereiche werden sie eingesetzt?

Nitto Kohki Reinraumtechnik-Schnellkupplungen sind hochpräzise Pneumatikkomponenten aus PTFE, FEP oder Edelstahl SUS304 für kontaminationsfreie Medienübertragung in kritischen Umgebungen. Diese Kupplungssysteme finden primär Anwendung in der Halbleiterindustrie, Pharmaindustrie, Biotechnologie und Elektronikfertigung, wo Partikelfreiheit nach ISO 14644 gefordert ist. Die SCT-Serie mit PTFE/FEP-Materialien und SP-Serie mit Kalrez-Dichtungen gewährleisten minimale Ausgasung und chemische Resistenz für ultrareine Prozessgase und aggressive Chemikalien in Fab-Anlagen.

Welche technischen Auswahlkriterien sind bei Nitto Kohki Reinraum-Schnellkupplungen entscheidend?

Die Auswahl von Nitto Kohki Reinraum-Schnellkupplungen erfolgt primär nach Nennweite (DN2 bis DN8 entsprechend SCT-2S bis SCT-8S), Gewinde-Ausführung (metrisch oder NPT), Materialkompatibilität und Dichtungssystem. PTFE/FEP-Ausführungen der SCT-Serie eignen sich für Betriebsdrücke bis 1,0 MPa bei Temperaturen von -10°C bis +60°C, während SUS304-Varianten mit Kalrez-Dichtungen erhöhte chemische Beständigkeit gegen Fluorchemikalien und Säuren bieten. Die Wahl zwischen gerader (S) und abgewinkelter (P) Bauform bestimmt die Montagesituation in beengten Reinraum-Installationen.

Welche Normen und Zertifizierungen gelten für Nitto Kohki Reinraumtechnik-Komponenten?

Nitto Kohki Reinraumtechnik-Schnellkupplungen erfüllen die internationalen Reinraumstandards ISO 14644 für Luftreinheit und partikelarme Konstruktion sowie VDI 2083 für Reinraumtechnik-Auslegung. Die verwendeten PTFE- und FEP-Materialien entsprechen FDA-Regularien CFR 21.177.1550 für Lebensmittel- und Pharmakontakt, während die Edelstahl-Ausführungen nach DIN EN 10088 gefertigt sind. Zusätzlich erfüllen die Komponenten die Ausgasungsanforderungen nach ASTM E595 für Vakuum- und Weltraumanwendungen mit Total Mass Loss unter 1,0% und Collected Volatile Condensable Material unter 0,1%.

Was unterscheidet die SCT-Serie von der SP-Serie bei Nitto Kohki Reinraum-Schnellkupplungen?

Die SCT-Serie von Nitto Kohki verwendet Vollkunststoff-Konstruktion aus PTFE mit FEP-Dichtungen für universelle Chemikalienbeständigkeit und niedrigste Partikelemission, verfügbar in Nennweiten DN2 bis DN8 mit metrischen oder NPT-Gewinden. Im Gegensatz dazu bietet die SP-Serie Edelstahl SUS304-Gehäuse mit Kalrez-Perfluorelastomer-Dichtungen für extreme chemische Resistenz bei höheren Betriebstemperaturen bis 200°C und Drücken bis 1,6 MPa. Während SCT-Kupplungen optimal für Standard-Reinraumprozesse sind, eignen sich SP-Varianten für aggressive Ätzchemikalien und Hochtemperatur-CVD-Anwendungen in der Halbleiterfertigung.

Welche Installationsanforderungen und Anschlussarten bieten Nitto Kohki Reinraum-Schnellkupplungen?

Nitto Kohki Reinraum-Schnellkupplungen erfordern eine partikelfrei vorbereitete Installation mit Spülprotokoll nach VDI 2083 und Drehmomentbegrenzung gemäß Herstellervorgaben zur Vermeidung von Dichtungsschäden. Die Anschlussarten umfassen metrische Gewinde M5 bis M12 sowie NPT-Gewinde 1/8" bis 1/2" je nach Kupplungstyp, wobei PTFE-Dichtband oder O-Ringe nach DIN 3771 für leckagefreie Verbindungen sorgen. Systemkompatibilität besteht zu allen gängigen Reinraum-Pneumatikverteilern und CDA-Systemen (Clean Dry Air) mit Betriebsdrücken von 0,2 bis 1,0 MPa bei gefilterten Medien nach ISO 8573-1 Klasse 1.2.1.

Welche Sicherheitseinstufungen und Betriebsparameter haben Nitto Kohki Reinraumtechnik-Schnellkupplungen?

Nitto Kohki Reinraumtechnik-Schnellkupplungen der SCT-Serie sind für Betriebstemperaturen von -10°C bis +60°C und Drücke bis 1,0 MPa ausgelegt, während SP-Edelstahlvarianten erweiterte Parameter bis 200°C und 1,6 MPa erreichen. Die Schutzart entspricht IP54 gegen Staub und Spritzwasser, wobei die PTFE/FEP-Konstruktion zusätzlich elektrische Isolierung bis 40 kV/mm bietet. Sicherheitsrelevant ist die inhärente Flammwidrigkeit der Fluorpolymere nach UL94-V0 sowie die physiologische Unbedenklichkeit nach USP Class VI für pharmazeutische Anwendungen und die Konformität mit SEMI F57 für Halbleiter-Fab-Umgebungen.

Wie oft müssen Nitto Kohki Reinraum-Schnellkupplungen gewartet werden und welche Lebensdauer erreichen sie?

Nitto Kohki Reinraum-Schnellkupplungen erreichen bei ordnungsgemäßer Installation eine Lebensdauer von mindestens 10.000 Kopplungszyklen oder 24 Monate Dauerbetrieb in unkritischen Medien, wobei aggressive Chemikalien die Standzeit auf 6-12 Monate reduzieren können. Präventive Wartung erfolgt halbjährlich durch Sichtprüfung auf Risse, Verfärbungen und Dichtheitsprüfung mit Helium-Leckdetektor bei 10⁻⁹ mbar·l/s Empfindlichkeit nach DIN EN 1330-8. Der Austausch von Dichtringen und die Reinigung mit IPA-getränkten Cleanroom-Wipes nach ISO 14644-5 stellt die dauerhafte Partikelfreiheit sicher, während dokumentierte Validierung nach FDA 21 CFR Part 11 in pharmazeutischen Anwendungen erforderlich ist.

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Technische Merkmale

Baureihen im Vergleich

Typische Einsatzbereiche