Nitto Kohki Semicon SP Cupla
Reinraumtechnik Nitto Kohki
Die Nitto Kohki Semicon SP Cupla-Serie ist eine Hochleistungs-Schnellkupplung speziell für Reinraum- und Halbleiteranwendungen. Die Kupplungen erreichen einen Partikelausstoß von < 0,1 Partikel/Kupplung (0,1 µm), erfüllen die Anforderungen nach SEMI F57 und IEST-STD-CC1246 und sind aus chemisch beständigem PTFE sowie Edelstahl gefertigt. Mit Betriebsdrücken von 0-0,7 MPa (Vakuum bis 0,1 MPa) und Leckraten < 1 × 10⁻⁴ Pa·m³/s bieten sie prozesssichere Mediendichtheit für ultrareine Gase und Flüssigkeiten.
Als autorisierter Fachhändler für Nitto Kohki führt esd.equipment 72 Artikel der Semicon SP Cupla-Linie ab Lager. Alle Produkte entsprechen den Reinraumklassen ISO 1-5 (ISO 14644-1) und sind für den Einsatz in Fab-Umgebungen mit hochreinen Prozessmedien zugelassen - inklusive Dokumentation nach SEMI S2 und SEMI S8 auf Anfrage.
Nitto Kohki Semicon SP Cupla - Produktübersicht
| Baureihe / Typ | Semicon SP Cupla | Standard Cupla | Mini Cupla |
|---|---|---|---|
| Anwendung | Reinraum / Halbleiter-Fab | Allgemeine Pneumatik | Pneumatik kompakt |
| Gehäusematerial | PTFE / Edelstahl | Messing / Stahl | Messing |
| Betriebsdruck | 0-0,7 MPa / Vakuum | 0-1,0 MPa | 0-0,85 MPa |
| Reinraumklasse | ISO 1-5 (ISO 14644-1) | Nicht spezifiziert | Nicht spezifiziert |
| Partikelausstoß | < 0,1 Partikel/Kupplung | Nicht spezifiziert | Nicht spezifiziert |
| Norm / Zulassung | SEMI F57, SEMI S2 | ISO 6150 | ISO 6150 |
| Anschlüsse | NPT, Rc; ø 4-12 mm | NPT, Rc, G | NPT, Rc |
| Medien | UPW, N², techn. Gase, CDA | Druckluft, N² | Druckluft |
Typische Einsatzbereiche: Halbleiterfertigung Wafer-Handling (SEMI F57, SEMI S2), Dünnschicht- und Photovoltaik-Prozesse (ISO 14644-1 Klasse 3-5), Medizingerätefertigung Reinraum (ISO 13485, ISO 14644-2), Pharmazeutische Abfüllung und Sterilprozesse (GMP Annex 1), Luft- und Raumfahrt Kleinteilefertigung (AS9100), Display-Fertigung OLED/LCD (IEST-STD-CC1246)