Semicon SP Cupla

Reinraumtechnik

Die Semicon SP Cupla von Nitto Kohki ist eine reinraumtaugliche Schnellkupplung aus Edelstahl SUS304 mit FKM- oder EPDM-Dichtungen für die Halbleiterfertigung und verwandte Hochreinheitsprozesse. Das umfangreiche Sortiment mit 72 Typen umfasst Stecker (P-Typen) und Buchsen (S-Typen) in den Nenngrößen 1, 2, 3, 4, 6 und 8, jeweils mit G-Gewinde (F-Suffix), NPT-Gewinde (NPT-Suffix) und UNS-Gewinde (UNS-Suffix). FKM-Dichtungen (F-Suffix) und EPDM-Dichtungen (E-Suffix) erlauben die Auswahl nach Mediumverträglichkeit.

Edelstahl SUS304 - Korrosionsbeständig, für Reinstwasser (UPW), Prozessgase und feuchte Reinraumumgebungen geeignet
FKM und EPDM-Dichtungen - FKM für Fluorchemikalien und synthetische Medien, EPDM für Wasserdampf und polare Lösungsmittel
Nenngrößen 1-8 - Sechs Größenstufen, kompatibel mit G-, NPT- und UNS-Gewinde je Größe
Drucklose Trennung - Kuppeln und Entkuppeln ohne Restdruck verhindert Partikelkontamination in Reinräumen

DichtungGewindeTypbezeichnung (Stecker)Typbezeichnung (Buchse)Nenngrößen
FKMG1P-304-F bis 8P-304-F1S-304-F bis 8S-304-F1, 2, 3, 4, 6, 8
FKMNPT1P-304-NPT-F bis 4P-304-NPT-F1S-304-NPT-F bis 4S-304-NPT-F1, 2, 3, 4
FKMUNS1P-304-UNS-F / 2P-304-UNS-F-1, 2
EPDMG1P-304-E bis 8P-304-E1S-304-E bis 8S-304-E1, 2, 3, 4, 6, 8
EPDMNPT1P-304-NPT-E / 2P-304-NPT-E1S-304-NPT-E / 2S-304-NPT-E1, 2

Typische Einsatzbereiche: Druckgaszuführung in Waferbearbeitungsanlagen (CMP, ALD, Ätzkammern), Reinstwasserverteilung (UPW) in Fab-Umgebungen, Prozessgaspanels in der Chiptechnik, Photolithographie-Spülsysteme, Analytik- und Hochreinheitslabore sowie Pharma-Bioprozessanlagen, wo Metallkontakt mit dem Medium und partikelarme Verbindungen gefordert sind.

Technische Daten laut Herstellerkatalog

BaureiheSEMICON CUPLA SP Type
GehäusewerkstoffElektropolierter Edelstahl (SUS304) (Typ SP, SCS, SCY), Polytetrafluorethylen (PTFE) (Typ SCAL), Fluorpolymer (PFA) (Typ SCF)
DichtwerkstoffFluorkautschuk (FKM), Ethylen-Propylen-Kautschuk (EPDM), Perfluorelastomer (P), Kalrez (KL), Dichtung aus Fluorkunststoff PTFE (TF) (Typ SCY), FEP-ummantelter O-Ring aus Fluorkautschuk (Typ SCF), Ventil Typ SCS: Fluorkunststoff (Muffe: PFA, Stecker: PTFE, außer 1P und 2P aus PFA), Ventil Typ SCY: Fluorkunststoff (PTFE, außer 1S und 2S aus PFA), Ventil Typ SCAL und Typ SCF: Fluorkunststoff (PFA)
Betriebsdruck max.0.2 MPa {2 kgf/cm2}
ArbeitstemperaturTyp SP: Fluorkautschuk (FKM): 0 °C bis +50 °C | Typ SP: Ethylen-Propylen-Kautschuk (EPDM): 0 °C bis +50 °C | Typ SP: Perfluorelastomer (P): 0 °C bis +50 °C | Typ SP: Kalrez (KL): 0 °C bis +50 °C | Typ SCS Muffen-O-Ring: Perfluorelastomer (P): 0 °C bis +50 °C | Dichtung Typ SCY: Perfluorelastomer (P): 0 °C bis +50 °C | Typ SCAL Muffen-O-Ring: Perfluorelastomer (P): +5 °C bis +50 °C | Typ SCF O-Ring: FEP-ummantelter Fluorkautschuk (Kennzeichnung: -): +5 °C bis +50 °C
Ventilbauartbeidseitig absperrend (Typ SCAL: beidseitig absperrend und tropfarm)
Zugelassene MedienHochreine Chemikalien, Wasser, Gas, Druckluft
GrößenbereichTyp SP und SCS: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT, 19/32-18UNS. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT. Typ SCAL: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll. Typ SCF: Gewinde 3/8 Zoll, 1/2 Zoll / M26, M32 sowie Rohrtülle ø6 mm x ø8 mm, ø8 mm x ø10 mm
KatalogseiteC01en-b, 143

Funktionsprinzip

Beidseitig absperrendBeidseitig absperrendAbsperrventil in der MuffeAbsperrventil im SteckerMuffeSteckerFließrichtung: von der Muffe zum Stecker
Beide Kupplungshälften schließen beim Trennen. Der Leitungsinhalt bleibt auf beiden Seiten erhalten.
Kuppeln in drei SchrittenKuppeln in drei Schritten1. Hülse zurückziehen2. Stecker bis zum Anschlag einführen3. Hülse loslassen, Kugeln verriegelnEinhandbedienung. Vor dem Trennen die Leitung drucklos machen.
Ablauf beim Kuppeln einer Schnellkupplung mit Kugelverriegelung.
  • SP Type: Universalausführung mit Edelstahlgehäuse und Gummidichtung. Elektropoliertes Gehäuse für erhöhte Korrosionsbeständigkeit.
  • SP Type: Gehäuse und Ventilfedern bestehen aus Edelstahl (SUS304). Das Gehäuse ist für erhöhte Korrosionsbeständigkeit elektropoliert.
  • SP Type: Die Dichtungswerkstoffe lassen sich passend zu Medium und Anwendung wählen und decken so flexibel die Anforderungen Ihres Halbleiterfertigungsprozesses ab.
  • SP Type: Alle Bauteile werden im Reinraum gereinigt, montiert, geprüft und verpackt.
  • SP Type: Fettfrei. Auf das Dichtungsmaterial wird kein Fett aufgebracht.
  • SP Type: Jeder Stecker wird mit einer Staubschutzkappe geliefert.
  • SP Type: Gehäuse und Ventilfedern aus Edelstahl SUS316 sind als Sonderanfertigung erhältlich.
  • SCS Type: Gehäuse aus Edelstahl und Ventile aus fluorhaltigem Kunststoff.

Alle Modelle der Baureihe

SP-P - Innengewinde

ModellKupplungsteilAnwendungEdelstahl (g)LCTøH(WAF)
1P-304SteckerFür 10L bis 20L192919Rc 1/8Hex.14
1P-304-NPTSteckerFür 10L bis 20L1929191/8-27NPTHex.14
1P-304-UNSSteckerFür 10L bis 20L34331919/32-18UNSHex.21
2P-304SteckerFür 10L bis 20L353622Rc 1/4Hex.17
2P-304-NPTSteckerFür 10L bis 20L3536221/4-18NPTHex.17
2P-304-UNSSteckerFür 10L bis 20L41362219/32-18UNSHex.21
3P-304SteckerFür 100L bis 200L604025Rc 3/8Hex.21
4P-304SteckerFür 100L bis 200L1154428Rc 1/2Hex.29
6P-304SteckerFür 100L bis 200L2165236Rc 3/4Hex.35
8P-304SteckerFür 100L bis 200L3526240Rc 1Hex.41

SP-S - Innengewinde

ModellKupplungsteilAnwendungEdelstahl (g)LøDTøH(WAF)
1S-304MuffeFür 10L bis 20L824824Rc 1/814
1S-304-NPTMuffeFür 10L bis 20L8448241/8-27NPT14
2S-304MuffeFür 10L bis 20L1385828Rc 1/419
2S-304-NPTMuffeFür 10L bis 20L13858281/4-18NPT19
3S-304MuffeFür 100L bis 200L2046535Rc 3/821
4S-304MuffeFür 100L bis 200L4247245Rc 1/229
6S-304MuffeFür 100L bis 200L7088855Rc 3/435
8S-304MuffeFür 100L bis 200L108110265Rc 141

SCS-P - Innengewinde

ModellKupplungsteilAnwendungEdelstahl (g)LCTøH(WAF)
SCS-1PSteckerFür 10L bis 20L172919Rc 1/8Hex.14
SCS-1P-NPTSteckerFür 10L bis 20L1729191/8-27NPTHex.14
SCS-1P-UNSSteckerFür 10L bis 20L34331919/32-18UNSHex.21
SCS-2PSteckerFür 10L bis 20L323422Rc 1/4Hex.17
SCS-2P-NPTSteckerFür 10L bis 20L2934221/4-18NPTHex.17
SCS-2P-UNSSteckerFür 10L bis 20L41362219/32-18UNSHex.21
SCS-3PSteckerFür 100L bis 200L614025Rc 3/8Hex.21
SCS-4PSteckerFür 100L bis 200L1144428Rc 1/2Hex.29
SCS-6PSteckerFür 100L bis 200L1985236Rc 3/4Hex.35
SCS-8PSteckerFür 100L bis 200L3386240Rc 1Hex.41

SCS-S - Innengewinde

ModellKupplungsteilAnwendungEdelstahl (g)LøDTøH(WAF)
SCS-1S-NPTMuffeFür 10L bis 20L8448241/8-27NPT14
SCS-2S-NPTMuffeFür 10L bis 20L13858281/4-18NPT19

SCY - Innengewinde

ModellKupplungsteilAnwendungEdelstahl (g)LøDTøH(WAF)
SCY-1SMuffeFür 10L bis 20L116(48)29Rc 1/818
SCY-1S-NPTMuffeFür 10L bis 20L116(48)291/8-27NPT18
SCY-2SMuffeFür 10L bis 20L180(58)33Rc 1/422
SCY-2S-NPTMuffeFür 10L bis 20L180(58)331/4-18NPT22
SCY-3SMuffeFür 100L bis 200L292(65)39Rc 3/827
SCY-4SMuffeFür 100L bis 200L519(72)50Rc 1/235
SCY-6SMuffeFür 100L bis 200L862(88)59Rc 3/441
SCY-8SMuffeFür 100L bis 200L1360(102)68Rc 150

SCAL-P - Innengewinde

ModellKupplungsteilAnwendungKunststoff (g)LøDCTøH(WAF)
SCAL-2PStecker-375027.524Rc 1/424
SCAL-3PStecker-736334.528Rc 3/830
SCAL-4PStecker-1077239.530.5Rc 1/236
SCAL-6PStecker-153774836.5Rc 3/441

SCAL-S - Innengewinde

ModellKupplungsteilAnwendungKunststoff (g)LøDTøH(WAF)
SCAL-2SMuffe-97(60.5)40.5Rc 1/427
SCAL-3SMuffe-135(69.5)47Rc 3/832
SCAL-4SMuffe-177(76)52Rc 1/236
SCAL-6SMuffe-339(90)65Rc 3/446

SCF-P-CONT - Für Behälteranschluss

ModellKupplungsteilAnwendungKunststoff (g)LCTøD(WAF)
SCF-2P-M26SteckerFür 10L bis 20L33(53.7)(31.2)M26x1.5Hex.30 x ø32.5
SCF-3P-M32SteckerFür 10L bis 20L50(57.7)(35.2)M32x1.5Hex.36 x ø39

SCF-S-TUBE - Für Rohranschluss

ModellKupplungsteilAnwendungKunststoff (g)LøDøE
SCF-2SL-N08MuffeFür 10L bis 20L767733(45)
SCF-3SL-N10MuffeFür 10L bis 20L1168539(51)

SCF-P - Innengewinde

ModellKupplungsteilAnwendungKunststoff (g)LøDCTøBøA(WAF)øH(WAF)
SCF-2P-3Stecker-53(67.2)32.5(31.2)Rc 3/82724Hex.30
SCF-3P-4Stecker-79(71.2)39(35.2)Rc 1/23330Hex.36

SCF-S - Innengewinde (gerade Ausführung)

ModellKupplungsteilAnwendungKunststoff (g)LøDATøEøH(WAF)
SCF-2S-3Muffe-83(92)3327Rc 3/8(45)24
SCF-3S-4Muffe-124(102.5)3933Rc 1/2(51)30

Maße in Millimeter. Werte in Klammern gelten im gekuppelten Zustand.

Zeichenerklärung: L = Gesamtlänge; H = Schlüsselweite oder Außenmaß; D = Außendurchmesser der Muffe; A = Länge der Schlauchtülle; C = Hülsenmaß; T = Gewinde oder Tüllengröße; B = Durchgangsbohrung

Baureihen im Vergleich

BaureiheBetriebsdruck max.GrößenbereichVentilbauartZugelassene Medien
SEMICON CUPLA SCT Type2 barTyp SCT: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/4-18NPT, 3/8-18NPT, 1/2-14NPT, 3/4-14NPT, 1-11.5NPT. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPTbeidseitig absperrendHochreine Chemikalien, Wasser, Gas, Druckluft
SEMICON CUPLA SP Type2 barTyp SP und SCS: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT, 19/32-18UNS. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT. Typ SCAL: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll. Typ SCF: Gewinde 3/8 Zoll, 1/2 Zoll / M26, M32 sowie Rohrtülle ø6 mm x ø8 mm, ø8 mm x ø10 mmbeidseitig absperrend (Typ SCAL: beidseitig absperrend und tropfarm)Hochreine Chemikalien, Wasser, Gas, Druckluft

Die SEMICON CUPLA SP Type und die SCT Type haben dieselbe Druckstufe von 0.2 MPa {2 kgf/cm2} und sind beide beidseitig absperrend; Druckstufe und Ventilbauart unterscheiden sie also nicht. Für die SP Type spricht ein elektropoliertes Edelstahlgehäuse (SUS304) mit Gummidichtung, die passend zum Medium als FKM, EPDM, Perfluorelastomer (P) oder Kalrez (KL) festgelegt werden kann, sowie der Größenbereich von 1/8 Zoll bis 1 Zoll einschließlich 1/8-27NPT, 1/4-18NPT und 19/32-18UNS. Es gilt der Einsatztemperaturbereich 0 deg C bis +50 deg C.

Werkstoffe und Dichtungen

Gehäusewerkstoff
Elektropolierter Edelstahl (SUS304) (Typ SP, SCS, SCY)
Polytetrafluorethylen (PTFE) (Typ SCAL)
Fluorpolymer (PFA) (Typ SCF)
DichtwerkstoffKennzeichnungArbeitstemperaturBemerkung
Typ SP: Fluorkautschuk (FKM)-0 °C bis +50 °C-
Typ SP: Ethylen-Propylen-Kautschuk (EPDM)-0 °C bis +50 °C-
Typ SP: Perfluorelastomer (P)-0 °C bis +50 °C-
Typ SP: Kalrez (KL)-0 °C bis +50 °C-
Typ SCS Muffen-O-Ring: Perfluorelastomer (P)-0 °C bis +50 °C-
Dichtung Typ SCY: Perfluorelastomer (P)-0 °C bis +50 °C-
Typ SCAL Muffen-O-Ring: Perfluorelastomer (P)-+5 °C bis +50 °C-
Typ SCF O-Ring: FEP-ummantelter Fluorkautschuk (Kennzeichnung: -)-+5 °C bis +50 °C-

Weitere Katalogangaben

HinweisWert
Druckeinheiten aufgedrucktMPa 0.2 / kgf/cm2 2 / bar 2 / PSI 29
Typ SP maximales Anzugsmoment, Nm {kgf.cm}Rc 1/8 und 1/8-27NPT: 9 {92}, Rc 1/4 und 1/4-18NPT: 14 {143}, 19/32-18UNS: 20 {204}, Rc 3/8: 22 {224}, Rc 1/2: 60 {612}, Rc 3/4: 90 {918}, Rc 1: 120 {1224}
Typ SCS maximales Anzugsmoment, Nm {kgf.cm}Rc 1/8 und 1/8-27NPT: 9 {92}, Rc 1/4 und 1/4-18NPT: 14 {143}, 19/32-18UNS: 20 {204}, Rc 3/8: 22 {224}, Rc 1/2: 60 {612}, Rc 3/4: 90 {918}, Rc 1: 120 {1224}
Maximales Anzugsmoment Typ SCYsiehe Seite 144, SEMICON CUPLA Typ SCS.
Typ SP minimaler Querschnitt (mm2)1SP: 13, 2SP: 17, 3SP: 48, 4SP: 64, 6SP: 83, 8SP: 192
Typ SCS minimaler Querschnitt (mm2)SCS-1SP: 15, SCS-2SP: 23, SCS-3P: 28, SCS-4P: 71, SCS-6P: 110, SCS-8P: 162
Minimaler Querschnitt Typ SCY (mm2)SCY-1S: 15, SCY-2S: 23, SCY-3S: 28, SCY-4S: 71, SCY-6S: 110, SCY-8S: 162
Typ SCAL minimaler Querschnitt (mm2)SCAL-2S x SCAL-2P: 24, SCAL-3S x SCAL-3P: 41, SCAL-4S x SCAL-4P: 59, SCAL-6S x SCAL-6P: 108
Typ SCF minimaler Querschnitt (mm2)SCF-2SP: 23.8, SCF-3SP: 44.2
Typ SCAL SonderanfertigungFlanschausführung
WAFWAF steht für Schlüsselweite.

Austauschbarkeit und Baugruppen

SP Type: Muffen und Stecker lassen sich unabhängig von der Anschlussausführung verbinden, wenn die erste Zahl im Modellnamen übereinstimmt. SCS Type: Muffen und Stecker lassen sich unabhängig von der Anschlussausführung verbinden, wenn die Zahl [] im Modellnamen {SCS-[]S (P)} übereinstimmt; die Stecker lassen sich mit Muffen der SCY Type gleicher Größe verbinden, Einzelheiten siehe Interchangeability Check List. SCY Type: verbindbar mit Steckern der SCS Type gleicher Größe. SCAL Type: Muffen und Stecker lassen sich unabhängig von der Anschlussausführung verbinden, wenn die Zahl [] im Modellnamen {SCAL-[]S (P)} übereinstimmt. SCF Type: Muffen und Stecker lassen sich unabhängig von der Anschlussausführung verbinden, wenn die Zahl [] im Modellnamen {SCF-[]S (P)} übereinstimmt.

Sicherheits- und Einsatzhinweise

  • SCAL Type: Bei jeder Methode kann zu festes Anziehen das Gewinde beschädigen und zu Leckage führen; gehen Sie daher besonders sorgfältig vor.
  • SCAL Type: Zu festes Anziehen beschädigt das Gewindeteil und führt zu Leckage.
  • SCAL Type: Hinweis: Sehr geringe Gasmengen können durch den Balg aus Polytetrafluorethylen (PTFE) in der Muffe permeieren.
  • Lesen Sie vor dem Einsatz unbedingt den "Safety Guide" am Ende dieses Katalogs sowie das "Instruction Sheet", das den Produkten beiliegt.

Alle technischen Angaben auf dieser Seite stammen aus dem Nitto Kohki Gesamtkatalog Quick Connect Couplings C01en-b, Seite 143. Der vollständige Katalog steht auf dieser Seite als PDF zum Download bereit.

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