Semicon SP Cupla
Reinraumtechnik
Die Semicon SP Cupla von Nitto Kohki ist eine reinraumtaugliche Schnellkupplung aus Edelstahl SUS304 mit FKM- oder EPDM-Dichtungen für die Halbleiterfertigung und verwandte Hochreinheitsprozesse. Das umfangreiche Sortiment mit 72 Typen umfasst Stecker (P-Typen) und Buchsen (S-Typen) in den Nenngrößen 1, 2, 3, 4, 6 und 8, jeweils mit G-Gewinde (F-Suffix), NPT-Gewinde (NPT-Suffix) und UNS-Gewinde (UNS-Suffix). FKM-Dichtungen (F-Suffix) und EPDM-Dichtungen (E-Suffix) erlauben die Auswahl nach Mediumverträglichkeit.
| Dichtung | Gewinde | Typbezeichnung (Stecker) | Typbezeichnung (Buchse) | Nenngrößen |
|---|---|---|---|---|
| FKM | G | 1P-304-F bis 8P-304-F | 1S-304-F bis 8S-304-F | 1, 2, 3, 4, 6, 8 |
| FKM | NPT | 1P-304-NPT-F bis 4P-304-NPT-F | 1S-304-NPT-F bis 4S-304-NPT-F | 1, 2, 3, 4 |
| FKM | UNS | 1P-304-UNS-F / 2P-304-UNS-F | - | 1, 2 |
| EPDM | G | 1P-304-E bis 8P-304-E | 1S-304-E bis 8S-304-E | 1, 2, 3, 4, 6, 8 |
| EPDM | NPT | 1P-304-NPT-E / 2P-304-NPT-E | 1S-304-NPT-E / 2S-304-NPT-E | 1, 2 |
Typische Einsatzbereiche: Druckgaszuführung in Waferbearbeitungsanlagen (CMP, ALD, Ätzkammern), Reinstwasserverteilung (UPW) in Fab-Umgebungen, Prozessgaspanels in der Chiptechnik, Photolithographie-Spülsysteme, Analytik- und Hochreinheitslabore sowie Pharma-Bioprozessanlagen, wo Metallkontakt mit dem Medium und partikelarme Verbindungen gefordert sind.
Technische Daten laut Herstellerkatalog
| Baureihe | SEMICON CUPLA SP Type |
|---|---|
| Gehäusewerkstoff | Elektropolierter Edelstahl (SUS304) (Typ SP, SCS, SCY), Polytetrafluorethylen (PTFE) (Typ SCAL), Fluorpolymer (PFA) (Typ SCF) |
| Dichtwerkstoff | Fluorkautschuk (FKM), Ethylen-Propylen-Kautschuk (EPDM), Perfluorelastomer (P), Kalrez (KL), Dichtung aus Fluorkunststoff PTFE (TF) (Typ SCY), FEP-ummantelter O-Ring aus Fluorkautschuk (Typ SCF), Ventil Typ SCS: Fluorkunststoff (Muffe: PFA, Stecker: PTFE, außer 1P und 2P aus PFA), Ventil Typ SCY: Fluorkunststoff (PTFE, außer 1S und 2S aus PFA), Ventil Typ SCAL und Typ SCF: Fluorkunststoff (PFA) |
| Betriebsdruck max. | 0.2 MPa {2 kgf/cm2} |
| Arbeitstemperatur | Typ SP: Fluorkautschuk (FKM): 0 °C bis +50 °C | Typ SP: Ethylen-Propylen-Kautschuk (EPDM): 0 °C bis +50 °C | Typ SP: Perfluorelastomer (P): 0 °C bis +50 °C | Typ SP: Kalrez (KL): 0 °C bis +50 °C | Typ SCS Muffen-O-Ring: Perfluorelastomer (P): 0 °C bis +50 °C | Dichtung Typ SCY: Perfluorelastomer (P): 0 °C bis +50 °C | Typ SCAL Muffen-O-Ring: Perfluorelastomer (P): +5 °C bis +50 °C | Typ SCF O-Ring: FEP-ummantelter Fluorkautschuk (Kennzeichnung: -): +5 °C bis +50 °C |
| Ventilbauart | beidseitig absperrend (Typ SCAL: beidseitig absperrend und tropfarm) |
| Zugelassene Medien | Hochreine Chemikalien, Wasser, Gas, Druckluft |
| Größenbereich | Typ SP und SCS: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT, 19/32-18UNS. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT. Typ SCAL: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll. Typ SCF: Gewinde 3/8 Zoll, 1/2 Zoll / M26, M32 sowie Rohrtülle ø6 mm x ø8 mm, ø8 mm x ø10 mm |
| Katalogseite | C01en-b, 143 |
Funktionsprinzip
- SP Type: Universalausführung mit Edelstahlgehäuse und Gummidichtung. Elektropoliertes Gehäuse für erhöhte Korrosionsbeständigkeit.
- SP Type: Gehäuse und Ventilfedern bestehen aus Edelstahl (SUS304). Das Gehäuse ist für erhöhte Korrosionsbeständigkeit elektropoliert.
- SP Type: Die Dichtungswerkstoffe lassen sich passend zu Medium und Anwendung wählen und decken so flexibel die Anforderungen Ihres Halbleiterfertigungsprozesses ab.
- SP Type: Alle Bauteile werden im Reinraum gereinigt, montiert, geprüft und verpackt.
- SP Type: Fettfrei. Auf das Dichtungsmaterial wird kein Fett aufgebracht.
- SP Type: Jeder Stecker wird mit einer Staubschutzkappe geliefert.
- SP Type: Gehäuse und Ventilfedern aus Edelstahl SUS316 sind als Sonderanfertigung erhältlich.
- SCS Type: Gehäuse aus Edelstahl und Ventile aus fluorhaltigem Kunststoff.
Alle Modelle der Baureihe
SP-P - Innengewinde
| Modell | Kupplungsteil | Anwendung | Edelstahl (g) | L | C | T | øH(WAF) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1P-304 | Stecker | Für 10L bis 20L | 19 | 29 | 19 | Rc 1/8 | Hex.14 |
| 1P-304-NPT | Stecker | Für 10L bis 20L | 19 | 29 | 19 | 1/8-27NPT | Hex.14 |
| 1P-304-UNS | Stecker | Für 10L bis 20L | 34 | 33 | 19 | 19/32-18UNS | Hex.21 |
| 2P-304 | Stecker | Für 10L bis 20L | 35 | 36 | 22 | Rc 1/4 | Hex.17 |
| 2P-304-NPT | Stecker | Für 10L bis 20L | 35 | 36 | 22 | 1/4-18NPT | Hex.17 |
| 2P-304-UNS | Stecker | Für 10L bis 20L | 41 | 36 | 22 | 19/32-18UNS | Hex.21 |
| 3P-304 | Stecker | Für 100L bis 200L | 60 | 40 | 25 | Rc 3/8 | Hex.21 |
| 4P-304 | Stecker | Für 100L bis 200L | 115 | 44 | 28 | Rc 1/2 | Hex.29 |
| 6P-304 | Stecker | Für 100L bis 200L | 216 | 52 | 36 | Rc 3/4 | Hex.35 |
| 8P-304 | Stecker | Für 100L bis 200L | 352 | 62 | 40 | Rc 1 | Hex.41 |
SP-S - Innengewinde
| Modell | Kupplungsteil | Anwendung | Edelstahl (g) | L | øD | T | øH(WAF) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1S-304 | Muffe | Für 10L bis 20L | 82 | 48 | 24 | Rc 1/8 | 14 |
| 1S-304-NPT | Muffe | Für 10L bis 20L | 84 | 48 | 24 | 1/8-27NPT | 14 |
| 2S-304 | Muffe | Für 10L bis 20L | 138 | 58 | 28 | Rc 1/4 | 19 |
| 2S-304-NPT | Muffe | Für 10L bis 20L | 138 | 58 | 28 | 1/4-18NPT | 19 |
| 3S-304 | Muffe | Für 100L bis 200L | 204 | 65 | 35 | Rc 3/8 | 21 |
| 4S-304 | Muffe | Für 100L bis 200L | 424 | 72 | 45 | Rc 1/2 | 29 |
| 6S-304 | Muffe | Für 100L bis 200L | 708 | 88 | 55 | Rc 3/4 | 35 |
| 8S-304 | Muffe | Für 100L bis 200L | 1081 | 102 | 65 | Rc 1 | 41 |
SCS-P - Innengewinde
| Modell | Kupplungsteil | Anwendung | Edelstahl (g) | L | C | T | øH(WAF) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCS-1P | Stecker | Für 10L bis 20L | 17 | 29 | 19 | Rc 1/8 | Hex.14 |
| SCS-1P-NPT | Stecker | Für 10L bis 20L | 17 | 29 | 19 | 1/8-27NPT | Hex.14 |
| SCS-1P-UNS | Stecker | Für 10L bis 20L | 34 | 33 | 19 | 19/32-18UNS | Hex.21 |
| SCS-2P | Stecker | Für 10L bis 20L | 32 | 34 | 22 | Rc 1/4 | Hex.17 |
| SCS-2P-NPT | Stecker | Für 10L bis 20L | 29 | 34 | 22 | 1/4-18NPT | Hex.17 |
| SCS-2P-UNS | Stecker | Für 10L bis 20L | 41 | 36 | 22 | 19/32-18UNS | Hex.21 |
| SCS-3P | Stecker | Für 100L bis 200L | 61 | 40 | 25 | Rc 3/8 | Hex.21 |
| SCS-4P | Stecker | Für 100L bis 200L | 114 | 44 | 28 | Rc 1/2 | Hex.29 |
| SCS-6P | Stecker | Für 100L bis 200L | 198 | 52 | 36 | Rc 3/4 | Hex.35 |
| SCS-8P | Stecker | Für 100L bis 200L | 338 | 62 | 40 | Rc 1 | Hex.41 |
SCS-S - Innengewinde
| Modell | Kupplungsteil | Anwendung | Edelstahl (g) | L | øD | T | øH(WAF) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCS-1S-NPT | Muffe | Für 10L bis 20L | 84 | 48 | 24 | 1/8-27NPT | 14 |
| SCS-2S-NPT | Muffe | Für 10L bis 20L | 138 | 58 | 28 | 1/4-18NPT | 19 |
SCY - Innengewinde
| Modell | Kupplungsteil | Anwendung | Edelstahl (g) | L | øD | T | øH(WAF) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCY-1S | Muffe | Für 10L bis 20L | 116 | (48) | 29 | Rc 1/8 | 18 |
| SCY-1S-NPT | Muffe | Für 10L bis 20L | 116 | (48) | 29 | 1/8-27NPT | 18 |
| SCY-2S | Muffe | Für 10L bis 20L | 180 | (58) | 33 | Rc 1/4 | 22 |
| SCY-2S-NPT | Muffe | Für 10L bis 20L | 180 | (58) | 33 | 1/4-18NPT | 22 |
| SCY-3S | Muffe | Für 100L bis 200L | 292 | (65) | 39 | Rc 3/8 | 27 |
| SCY-4S | Muffe | Für 100L bis 200L | 519 | (72) | 50 | Rc 1/2 | 35 |
| SCY-6S | Muffe | Für 100L bis 200L | 862 | (88) | 59 | Rc 3/4 | 41 |
| SCY-8S | Muffe | Für 100L bis 200L | 1360 | (102) | 68 | Rc 1 | 50 |
SCAL-P - Innengewinde
| Modell | Kupplungsteil | Anwendung | Kunststoff (g) | L | øD | C | T | øH(WAF) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCAL-2P | Stecker | - | 37 | 50 | 27.5 | 24 | Rc 1/4 | 24 |
| SCAL-3P | Stecker | - | 73 | 63 | 34.5 | 28 | Rc 3/8 | 30 |
| SCAL-4P | Stecker | - | 107 | 72 | 39.5 | 30.5 | Rc 1/2 | 36 |
| SCAL-6P | Stecker | - | 153 | 77 | 48 | 36.5 | Rc 3/4 | 41 |
SCAL-S - Innengewinde
| Modell | Kupplungsteil | Anwendung | Kunststoff (g) | L | øD | T | øH(WAF) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCAL-2S | Muffe | - | 97 | (60.5) | 40.5 | Rc 1/4 | 27 |
| SCAL-3S | Muffe | - | 135 | (69.5) | 47 | Rc 3/8 | 32 |
| SCAL-4S | Muffe | - | 177 | (76) | 52 | Rc 1/2 | 36 |
| SCAL-6S | Muffe | - | 339 | (90) | 65 | Rc 3/4 | 46 |
SCF-P-CONT - Für Behälteranschluss
| Modell | Kupplungsteil | Anwendung | Kunststoff (g) | L | C | T | øD(WAF) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCF-2P-M26 | Stecker | Für 10L bis 20L | 33 | (53.7) | (31.2) | M26x1.5 | Hex.30 x ø32.5 |
| SCF-3P-M32 | Stecker | Für 10L bis 20L | 50 | (57.7) | (35.2) | M32x1.5 | Hex.36 x ø39 |
SCF-S-TUBE - Für Rohranschluss
| Modell | Kupplungsteil | Anwendung | Kunststoff (g) | L | øD | øE |
|---|---|---|---|---|---|---|
| SCF-2SL-N08 | Muffe | Für 10L bis 20L | 76 | 77 | 33 | (45) |
| SCF-3SL-N10 | Muffe | Für 10L bis 20L | 116 | 85 | 39 | (51) |
SCF-P - Innengewinde
| Modell | Kupplungsteil | Anwendung | Kunststoff (g) | L | øD | C | T | øB | øA(WAF) | øH(WAF) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCF-2P-3 | Stecker | - | 53 | (67.2) | 32.5 | (31.2) | Rc 3/8 | 27 | 24 | Hex.30 |
| SCF-3P-4 | Stecker | - | 79 | (71.2) | 39 | (35.2) | Rc 1/2 | 33 | 30 | Hex.36 |
SCF-S - Innengewinde (gerade Ausführung)
| Modell | Kupplungsteil | Anwendung | Kunststoff (g) | L | øD | A | T | øE | øH(WAF) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCF-2S-3 | Muffe | - | 83 | (92) | 33 | 27 | Rc 3/8 | (45) | 24 |
| SCF-3S-4 | Muffe | - | 124 | (102.5) | 39 | 33 | Rc 1/2 | (51) | 30 |
Maße in Millimeter. Werte in Klammern gelten im gekuppelten Zustand.
Zeichenerklärung: L = Gesamtlänge; H = Schlüsselweite oder Außenmaß; D = Außendurchmesser der Muffe; A = Länge der Schlauchtülle; C = Hülsenmaß; T = Gewinde oder Tüllengröße; B = Durchgangsbohrung
Baureihen im Vergleich
| Baureihe | Betriebsdruck max. | Größenbereich | Ventilbauart | Zugelassene Medien |
|---|---|---|---|---|
| SEMICON CUPLA SCT Type | 2 bar | Typ SCT: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/4-18NPT, 3/8-18NPT, 1/2-14NPT, 3/4-14NPT, 1-11.5NPT. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT | beidseitig absperrend | Hochreine Chemikalien, Wasser, Gas, Druckluft |
| SEMICON CUPLA SP Type | 2 bar | Typ SP und SCS: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT, 19/32-18UNS. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT. Typ SCAL: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll. Typ SCF: Gewinde 3/8 Zoll, 1/2 Zoll / M26, M32 sowie Rohrtülle ø6 mm x ø8 mm, ø8 mm x ø10 mm | beidseitig absperrend (Typ SCAL: beidseitig absperrend und tropfarm) | Hochreine Chemikalien, Wasser, Gas, Druckluft |
Die SEMICON CUPLA SP Type und die SCT Type haben dieselbe Druckstufe von 0.2 MPa {2 kgf/cm2} und sind beide beidseitig absperrend; Druckstufe und Ventilbauart unterscheiden sie also nicht. Für die SP Type spricht ein elektropoliertes Edelstahlgehäuse (SUS304) mit Gummidichtung, die passend zum Medium als FKM, EPDM, Perfluorelastomer (P) oder Kalrez (KL) festgelegt werden kann, sowie der Größenbereich von 1/8 Zoll bis 1 Zoll einschließlich 1/8-27NPT, 1/4-18NPT und 19/32-18UNS. Es gilt der Einsatztemperaturbereich 0 deg C bis +50 deg C.
Werkstoffe und Dichtungen
| Gehäusewerkstoff |
|---|
| Elektropolierter Edelstahl (SUS304) (Typ SP, SCS, SCY) |
| Polytetrafluorethylen (PTFE) (Typ SCAL) |
| Fluorpolymer (PFA) (Typ SCF) |
| Dichtwerkstoff | Kennzeichnung | Arbeitstemperatur | Bemerkung |
|---|---|---|---|
| Typ SP: Fluorkautschuk (FKM) | - | 0 °C bis +50 °C | - |
| Typ SP: Ethylen-Propylen-Kautschuk (EPDM) | - | 0 °C bis +50 °C | - |
| Typ SP: Perfluorelastomer (P) | - | 0 °C bis +50 °C | - |
| Typ SP: Kalrez (KL) | - | 0 °C bis +50 °C | - |
| Typ SCS Muffen-O-Ring: Perfluorelastomer (P) | - | 0 °C bis +50 °C | - |
| Dichtung Typ SCY: Perfluorelastomer (P) | - | 0 °C bis +50 °C | - |
| Typ SCAL Muffen-O-Ring: Perfluorelastomer (P) | - | +5 °C bis +50 °C | - |
| Typ SCF O-Ring: FEP-ummantelter Fluorkautschuk (Kennzeichnung: -) | - | +5 °C bis +50 °C | - |
Weitere Katalogangaben
| Hinweis | Wert |
|---|---|
| Druckeinheiten aufgedruckt | MPa 0.2 / kgf/cm2 2 / bar 2 / PSI 29 |
| Typ SP maximales Anzugsmoment, Nm {kgf.cm} | Rc 1/8 und 1/8-27NPT: 9 {92}, Rc 1/4 und 1/4-18NPT: 14 {143}, 19/32-18UNS: 20 {204}, Rc 3/8: 22 {224}, Rc 1/2: 60 {612}, Rc 3/4: 90 {918}, Rc 1: 120 {1224} |
| Typ SCS maximales Anzugsmoment, Nm {kgf.cm} | Rc 1/8 und 1/8-27NPT: 9 {92}, Rc 1/4 und 1/4-18NPT: 14 {143}, 19/32-18UNS: 20 {204}, Rc 3/8: 22 {224}, Rc 1/2: 60 {612}, Rc 3/4: 90 {918}, Rc 1: 120 {1224} |
| Maximales Anzugsmoment Typ SCY | siehe Seite 144, SEMICON CUPLA Typ SCS. |
| Typ SP minimaler Querschnitt (mm2) | 1SP: 13, 2SP: 17, 3SP: 48, 4SP: 64, 6SP: 83, 8SP: 192 |
| Typ SCS minimaler Querschnitt (mm2) | SCS-1SP: 15, SCS-2SP: 23, SCS-3P: 28, SCS-4P: 71, SCS-6P: 110, SCS-8P: 162 |
| Minimaler Querschnitt Typ SCY (mm2) | SCY-1S: 15, SCY-2S: 23, SCY-3S: 28, SCY-4S: 71, SCY-6S: 110, SCY-8S: 162 |
| Typ SCAL minimaler Querschnitt (mm2) | SCAL-2S x SCAL-2P: 24, SCAL-3S x SCAL-3P: 41, SCAL-4S x SCAL-4P: 59, SCAL-6S x SCAL-6P: 108 |
| Typ SCF minimaler Querschnitt (mm2) | SCF-2SP: 23.8, SCF-3SP: 44.2 |
| Typ SCAL Sonderanfertigung | Flanschausführung |
| WAF | WAF steht für Schlüsselweite. |
Austauschbarkeit und Baugruppen
SP Type: Muffen und Stecker lassen sich unabhängig von der Anschlussausführung verbinden, wenn die erste Zahl im Modellnamen übereinstimmt. SCS Type: Muffen und Stecker lassen sich unabhängig von der Anschlussausführung verbinden, wenn die Zahl [] im Modellnamen {SCS-[]S (P)} übereinstimmt; die Stecker lassen sich mit Muffen der SCY Type gleicher Größe verbinden, Einzelheiten siehe Interchangeability Check List. SCY Type: verbindbar mit Steckern der SCS Type gleicher Größe. SCAL Type: Muffen und Stecker lassen sich unabhängig von der Anschlussausführung verbinden, wenn die Zahl [] im Modellnamen {SCAL-[]S (P)} übereinstimmt. SCF Type: Muffen und Stecker lassen sich unabhängig von der Anschlussausführung verbinden, wenn die Zahl [] im Modellnamen {SCF-[]S (P)} übereinstimmt.
Sicherheits- und Einsatzhinweise
- SCAL Type: Bei jeder Methode kann zu festes Anziehen das Gewinde beschädigen und zu Leckage führen; gehen Sie daher besonders sorgfältig vor.
- SCAL Type: Zu festes Anziehen beschädigt das Gewindeteil und führt zu Leckage.
- SCAL Type: Hinweis: Sehr geringe Gasmengen können durch den Balg aus Polytetrafluorethylen (PTFE) in der Muffe permeieren.
- Lesen Sie vor dem Einsatz unbedingt den "Safety Guide" am Ende dieses Katalogs sowie das "Instruction Sheet", das den Produkten beiliegt.
Alle technischen Angaben auf dieser Seite stammen aus dem Nitto Kohki Gesamtkatalog Quick Connect Couplings C01en-b, Seite 143. Der vollständige Katalog steht auf dieser Seite als PDF zum Download bereit.