Reinraumtechnik

Nitto Kohki Pneumatik

Reinraumtaugliche Schnellkupplungen von Nitto Kohki sind für die Halbleiter- und Chiptechnik entwickelt worden, wo Partikelabgabe und Kontamination kritische Ausschlussparameter sind. Das Sortiment umfasst zwei spezialisierte Baureihen: die Semicon SP Cupla aus Edelstahl SUS304 mit FKM- oder EPDM-Dichtungen sowie die Semicon SCT Cupla aus PTFE und FEP, die chemisch inerten Medienkontakt ermöglicht. Beide Serien verbinden drucklos trennbar und verhindern Flüssigkeits- oder Gasaustritt beim Kuppeln.

Reinraum-Werkstoffe - Edelstahl SUS304 (SP) oder PTFE/FEP (SCT), ausgelegt für ISO-Klassen-Reinräume der Halbleiterfertigung
Drucklose Trennung - Kuppeln und Entkuppeln unter Druckfreiheit verhindert Fluidaustrag und Partikelkontamination
FKM- und EPDM-Dichtungen - Beständig gegen chemisch aggressive Prozessgase und UPW (ultrapure water)
Anschlussgrößen 1-8 - Stecker- und Steckbuchsenvarianten mit G-, NPT- und UNS-Gewinde lieferbar

MerkmalSemicon SPSemicon SCT
GehäusewerkstoffEdelstahl SUS304PTFE, FEP
DichtungFKM oder EPDMFEP
GewindetypenG, NPT, UNSG, NPT
Größen (Kenngröße)1-82-8
Chemische Inertheithoch (SUS)sehr hoch (PTFE/FEP)

Typische Einsatzbereiche: Halbleiterfertigung (Wafer-Handling, CMP, Ätzprozesse), Chiptestanlagen und Wafersteppersysteme, Gaspanels und Gasdosiersysteme in der Chipproduktion, Reinstwasserkreisläufe (UPW) sowie Laboranlagen in der Pharma- und Biotechindustrie mit Anforderungen an partikelfreie Verbindungen.

Baureihen dieser Kategorie im Vergleich

Der maximale Betriebsdruck ist das erste Auswahlkriterium. Er entscheidet über die Baureihe, nicht über die Baugröße: eine Niederdruckkupplung lässt sich nicht durch eine größere Nennweite hochdrucktauglich machen.

Druckklassen des CUPLA ProgrammsDruckklassen des CUPLA ProgrammsNiederdruckbis 20 barSEMICON CUPLA SCT Type, SEMICON CUPLA SP Type
Einordnung der Baureihen nach maximalem Betriebsdruck.
BaureiheBetriebsdruck max.GrößenAbsperrartMedienGehäusewerkstoffKatalogseite
SEMICON CUPLA SCT Type2 barTyp SCT: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/4-18NPT, 3/8-18NPT, 1/2-14NPT, 3/4-14NPT, 1-11.5NPT. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPTbeidseitig absperrendHochreine Chemikalien, Wasser, Gas, DruckluftPolytetrafluorethylen (PTFE) (Typ SCT), Elektropolierter Edelstahl (SUS304) (Typ SCY)145
SEMICON CUPLA SP Type2 barTyp SP und SCS: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT, 19/32-18UNS. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT. Typ SCAL: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll. Typ SCF: Gewinde 3/8 Zoll, 1/2 Zoll / M26, M32 sowie Rohrtülle ø6 mm x ø8 mm, ø8 mm x ø10 mmbeidseitig absperrend (Typ SCAL: beidseitig absperrend und tropfarm)Hochreine Chemikalien, Wasser, Gas, DruckluftElektropolierter Edelstahl (SUS304) (Typ SP, SCS, SCY), Polytetrafluorethylen (PTFE) (Typ SCAL), Fluorpolymer (PFA) (Typ SCF)143

Die vier Absperrarten

Die Absperrart bestimmt, was beim Trennen passiert. Sie ist das zweite Auswahlkriterium und hängt davon ab, ob die Leitung beim Trennen unter Druck steht und wie viel Medium austreten darf.

Einseitig absperrend (Ventil in der Muffe)Einseitig absperrend (Ventil in der Muffe)Absperrventil in der MuffeStecker ohne VentilMuffeSteckerFließrichtung: von der Muffe zum Stecker
Beim Trennen schließt das Ventil in der Muffe die Zuleitung. Das im Stecker verbliebene Medium tritt aus.
Beidseitig absperrendBeidseitig absperrendAbsperrventil in der MuffeAbsperrventil im SteckerMuffeSteckerFließrichtung: von der Muffe zum Stecker
Beide Kupplungshälften schließen beim Trennen. Der Leitungsinhalt bleibt auf beiden Seiten erhalten.
Ventillos, voller DurchgangVentillos, voller Durchgangkein Ventil, freier Querschnittvoller DurchgangMuffeSteckerFließrichtung: von der Muffe zum Stecker
Ohne Ventil, dadurch geringster Druckverlust. Die Leitung muss vor dem Trennen drucklos sein.
Planflächig, tropffreies TrennenPlanflächig, tropffreies Trennenplanflächige DichtebeneMuffeSteckerFließrichtung: von der Muffe zum Stecker
Planflächige Dichtebene, dadurch minimaler Medienverlust und leicht zu reinigende Trennstelle.
Kuppeln in drei SchrittenKuppeln in drei Schritten1. Hülse zurückziehen2. Stecker bis zum Anschlag einführen3. Hülse loslassen, Kugeln verriegelnEinhandbedienung. Vor dem Trennen die Leitung drucklos machen.
Ablauf beim Kuppeln einer Schnellkupplung mit Kugelverriegelung.

In fünf Schritten zur richtigen Kupplung

  1. Medium und Betriebstemperatur festlegen, daraus folgt der Dichtungswerkstoff.
  2. Maximalen Betriebsdruck bestimmen, daraus folgt die Druckklasse und damit die Baureihe.
  3. Absperrart wählen: einseitig, beidseitig, ventillos oder planflächig.
  4. Anschlussart und Größe festlegen: Schlauchtülle, Außengewinde, Innengewinde oder Steckanschluss.
  5. Gehäusewerkstoff nach Medium und Umgebung wählen, dann Stecker und Muffe als Paar bestellen.

Grundlage dieser Seite ist der Nitto Kohki Gesamtkatalog Quick Connect Couplings C01en-b mit 190 Seiten. Der vollständige Katalog steht auf dieser Seite als PDF zum Download bereit.

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  1. Schnellkupplung Semicon SCT Cupla SCT-3P-NPT, PTFE - Nitto Kohki 349821487
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